АЛГОРИТМЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ АКТИВНЫХ ОБЛАСТЕЙ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ НА ПАРАЛЛЕЛЬНЫХ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМАХ

Рассматривается модель создания активных областей элементов интегральных схем посредством термической диффузии примесей в полупроводниках. Модель учитывает нелинейность, многомерность процесса, влияние на диффузию точечных дефектов, кластерообразование, миграцию электронов. Предлагаются алгоритмы чи...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Format: Article
Language:Russian
Published: National Academy of Sciences of Belarus, the United Institute of Informatics Problems 2018-11-01
Series:Informatika
Online Access:https://inf.grid.by/jour/article/view/636
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!