Получение микропористых слоев GaAs методом химического травления на подложках р-GaAs и их фотолюминесценция
Методом химического травления на подложках GaAs(100) и GaAs(111) получены слои микропористого GaAs. Травление подложек проводилось в растворах на основе HF, с HNO3 и Н2О2.в качестве окислителя. При формировании пористой поверхности с использованием HNO3 получены губчатые слои; при использовании Н2О2...
Saved in:
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Chuiko Institute of Surface Chemistry of NAS of Ukraine
2012-02-01
|
| Series: | Хімія, фізика та технологія поверхні |
| Online Access: | https://cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/150 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|