Studi Penumbuhan Grafena pada Temperatur Rendah Menggunakan Metode Hotwire-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Dalam penelitian ini, telah dilakukan penumbuhan grafena dengan menggunakan metode Hotwire-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (HW-PECVD). Metode ini merupakan metode kombinasi antara metode PECVD konvensional dan metode CVD termal dengan menambahkan elemen hot-wire. Plasma dibangkitkan dengan...
Saved in:
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Lambung Mangkurat University Press
2024-12-01
|
| Series: | Jurnal Fisika Flux |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://ppjp.ulm.ac.id/journal/index.php/f/article/view/19279 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|