مدل‌سازی و شبیه‌سازی مقایسه‌ای پلاسمای تولیدشده به کمک مایکروویو با توان‌های ورودی متفاوت

فناوری پلاسما در بسیاری از کشورها در زمینه‌های مختلفی مانند تولید ازن، تصفیه سطح، اصلاح سطح، پزشکی و غیره استفاده می‌شود. پلاسمای تولیدشده با امواجی مانند مایکروویو، یک فناوری امیدوارکننده و جالب برای ویژگی‌های منحصر به فرد و همه کاره آن است. این ویژگی‌های پلاسمای مایکروویو یک فناوری جایگزین در مقای...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: نوشین داداش زاده
Format: Article
Language:fas
Published: Payame Noor University 2025-03-01
Series:اپتوالکترونیک
Subjects:
Online Access:https://jphys.journals.pnu.ac.ir/article_11501_9d9ea1b0d434a0c7efe8c104b4e33c9f.pdf
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:فناوری پلاسما در بسیاری از کشورها در زمینه‌های مختلفی مانند تولید ازن، تصفیه سطح، اصلاح سطح، پزشکی و غیره استفاده می‌شود. پلاسمای تولیدشده با امواجی مانند مایکروویو، یک فناوری امیدوارکننده و جالب برای ویژگی‌های منحصر به فرد و همه کاره آن است. این ویژگی‌های پلاسمای مایکروویو یک فناوری جایگزین در مقایسه با راکتورهای شیمیایی حرارتی سنتی به شرط رفع چالش‌های فنی خاص آن است. در این مطالعه عددی، خواص پلاسمای مایکروویو با فرکانس 45/2 گیگاهرتز و گاز آرگون در فشار اتمسفر بررسی شد. با تغییر توان ورودی دستگاه در محدوده 10 وات تا 20 وات در حالت مغناطیسی و مد (TM)، پروفایل‌های مقایسه‌ای چگالی الکترون، دمای الکترون، میدان الکتریکی نشان داده می‌شود. نتایج شبیه‌سازی، تولید المان‌های شیمیایی در پلاسمای مایکروویو را نشان می‌دهد. الکترون‌های پرانرژی و چگالی الکترون به‌عنوان عوامل اصلی مؤثر بر خواص پلاسمای مایکروویو در نظر گرفته شده‌اند.
ISSN:2783-1752
2783-2562