Оcобливості впливу напруженого стану на термічну стабільність фази NiSi в плівках Ni(Pt)/Si
Проблематика. Підвищити швидкодію, ступень інтеграції мікросхем та їх надійної експлуатації можливо шляхом застосування термічностійких нанорозмірних плівок силіцидів перехідних металів як функціональних елементів. Напруження в структурах є загальною проблемою мікроелектроніки, яку необхідно врахову...
Saved in:
| Main Authors: | , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute
2025-04-01
|
| Series: | KPI Science News |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://scinews.kpi.ua/article/view/322112 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|