VARIASI SUHU DEPOSISI PADA STRUKTUR, SIFAT OPTIK DAN LISTRIK FILM TIPIS SENG OKSIDA DENGAN DOPING GALIUM (ZNO:GA)
<p>Telah dilakukan deposisi film tipis ZnO:Ga di atas substrat kaca korning pada tekanan deposisi 500 mtorr dengan metode <em>DC-magnetron sputtering</em>. Film ditumbuhkan masing-masing pada suhu 325<sup>o</sup>C, 375<sup>o</sup>C, dan 425<sup>o</s...
Saved in:
| Main Authors: | , , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universitas Negeri Semarang
2015-01-01
|
| Series: | Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/JPFI/article/view/4007 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|