Структурные и оптические свойства пленок ZnO, легированного Mg, полученных методом спрей-пиролиза

Цель статьи: Тонкие пленки оксида цинка обладают важным для практического применения сочетанием свойств —прозрачностью в видимом диапазоне электромагнитного излучения и небольшим электрическим сопротивлением, что обеспечивается большим значением ширины запрещенной зоны и получением нестехиометрическ...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Екатерина Станиславовна Рембеза, Сирожиддин Зайнобиддинович Зайнобиддинов, Мархабо Ботировна Расулова
Format: Article
Language:English
Published: Voronezh State University 2025-06-01
Series:Конденсированные среды и межфазные границы
Subjects:
Online Access:https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/12807/13057
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
_version_ 1849429959857143808
author Екатерина Станиславовна Рембеза
Сирожиддин Зайнобиддинович Зайнобиддинов
Мархабо Ботировна Расулова
author_facet Екатерина Станиславовна Рембеза
Сирожиддин Зайнобиддинович Зайнобиддинов
Мархабо Ботировна Расулова
author_sort Екатерина Станиславовна Рембеза
collection DOAJ
description Цель статьи: Тонкие пленки оксида цинка обладают важным для практического применения сочетанием свойств —прозрачностью в видимом диапазоне электромагнитного излучения и небольшим электрическим сопротивлением, что обеспечивается большим значением ширины запрещенной зоны и получением нестехиометрических составов или путем введения соответствующих легирующих элементов. Возможность практического применения тонких пленок ZnO зависит также от их оптических и электрических свойств. Поэтому целью работы являлось определение оптимальных технологических условий получения пленок металлооксидов методом спрей-пиролиза, а также исследование их структурных и оптических параметров. Экспериментальная часть: Тонкие пленки нелегированного оксида цинка, а также пленки ZnO, легированного магнием с различным процентным содержанием от 1 до 15 ат. %, были получены методом спрей-пиролиза. Исследованы структурные и оптические свойства тонких пленок оксида цинка, легированного магнием. С помощью рентгеноструктурного анализа установлено, что все пленки являются поликристаллическими с гексагональной структурой вюрцита и кристаллографической ориентацией (002), выровнены или ориентированы вдоль этой конкретной плоскости относительно подложки. Выводы: Исследования оптических свойств с помощью УФ-видимой спектрофотометрии показали, что пропускание тонких пленок оксида цинка, легированного магнием, увеличилось с 70 до примерно 85 %, а ширина запрещенной зоны увеличилась с 3.20 до 3.42 эВ. Такие свойства тонких пленок ZnO, легированного магнием, делают их перспективными материалами для эффективного использования во многих оптоэлектронных устройствах и приборах таких, как солнечные элементы, газовые сенсоры, позволяют использовать их в качестве фотокатализаторов и т. д.
format Article
id doaj-art-6d4e9972ff8b4bbda4306382f2a64f8c
institution Kabale University
issn 1606-867X
language English
publishDate 2025-06-01
publisher Voronezh State University
record_format Article
series Конденсированные среды и межфазные границы
spelling doaj-art-6d4e9972ff8b4bbda4306382f2a64f8c2025-08-20T03:28:10ZengVoronezh State UniversityКонденсированные среды и межфазные границы1606-867X2025-06-0127210.17308/kcmf.2025.27/12807Структурные и оптические свойства пленок ZnO, легированного Mg, полученных методом спрей-пиролизаЕкатерина Станиславовна Рембеза0https://orcid.org/0000-0003-0811-0979Сирожиддин Зайнобиддинович Зайнобиддинов1https://orcid.org/0000-0003-2943-5844Мархабо Ботировна Расулова2ФГБОУ ВО «Воронежский государственный университет», Университетская пл., 1, Воронеж 394018, Российская ФедерацияАндижанский государственный университет, ул. Университетская, 129, Андижан 170100, Республика УзбекистанАндижанский государственный университет, ул. Университетская, 129, Андижан 170100, Республика Узбекистан; Андижанский машиностроительный институт, ул. Бобур Шох, 56, Андижан 170119, Республика УзбекистанЦель статьи: Тонкие пленки оксида цинка обладают важным для практического применения сочетанием свойств —прозрачностью в видимом диапазоне электромагнитного излучения и небольшим электрическим сопротивлением, что обеспечивается большим значением ширины запрещенной зоны и получением нестехиометрических составов или путем введения соответствующих легирующих элементов. Возможность практического применения тонких пленок ZnO зависит также от их оптических и электрических свойств. Поэтому целью работы являлось определение оптимальных технологических условий получения пленок металлооксидов методом спрей-пиролиза, а также исследование их структурных и оптических параметров. Экспериментальная часть: Тонкие пленки нелегированного оксида цинка, а также пленки ZnO, легированного магнием с различным процентным содержанием от 1 до 15 ат. %, были получены методом спрей-пиролиза. Исследованы структурные и оптические свойства тонких пленок оксида цинка, легированного магнием. С помощью рентгеноструктурного анализа установлено, что все пленки являются поликристаллическими с гексагональной структурой вюрцита и кристаллографической ориентацией (002), выровнены или ориентированы вдоль этой конкретной плоскости относительно подложки. Выводы: Исследования оптических свойств с помощью УФ-видимой спектрофотометрии показали, что пропускание тонких пленок оксида цинка, легированного магнием, увеличилось с 70 до примерно 85 %, а ширина запрещенной зоны увеличилась с 3.20 до 3.42 эВ. Такие свойства тонких пленок ZnO, легированного магнием, делают их перспективными материалами для эффективного использования во многих оптоэлектронных устройствах и приборах таких, как солнечные элементы, газовые сенсоры, позволяют использовать их в качестве фотокатализаторов и т. д.https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/12807/13057тонкие пленки znoлегирование mgметод cпрей-пиролизаструктурные свойстваоптические свойства
spellingShingle Екатерина Станиславовна Рембеза
Сирожиддин Зайнобиддинович Зайнобиддинов
Мархабо Ботировна Расулова
Структурные и оптические свойства пленок ZnO, легированного Mg, полученных методом спрей-пиролиза
Конденсированные среды и межфазные границы
тонкие пленки zno
легирование mg
метод cпрей-пиролиза
структурные свойства
оптические свойства
title Структурные и оптические свойства пленок ZnO, легированного Mg, полученных методом спрей-пиролиза
title_full Структурные и оптические свойства пленок ZnO, легированного Mg, полученных методом спрей-пиролиза
title_fullStr Структурные и оптические свойства пленок ZnO, легированного Mg, полученных методом спрей-пиролиза
title_full_unstemmed Структурные и оптические свойства пленок ZnO, легированного Mg, полученных методом спрей-пиролиза
title_short Структурные и оптические свойства пленок ZnO, легированного Mg, полученных методом спрей-пиролиза
title_sort структурные и оптические свойства пленок zno легированного mg полученных методом спрей пиролиза
topic тонкие пленки zno
легирование mg
метод cпрей-пиролиза
структурные свойства
оптические свойства
url https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/12807/13057
work_keys_str_mv AT ekaterinastanislavovnarembeza strukturnyeioptičeskiesvojstvaplenokznolegirovannogomgpolučennyhmetodomsprejpiroliza
AT sirožiddinzajnobiddinovičzajnobiddinov strukturnyeioptičeskiesvojstvaplenokznolegirovannogomgpolučennyhmetodomsprejpiroliza
AT marhabobotirovnarasulova strukturnyeioptičeskiesvojstvaplenokznolegirovannogomgpolučennyhmetodomsprejpiroliza