ОБЪЕМНО-ПЛАНАРНЫЙ КОНСТРУКТИВНЫЙ ВАРИАНТ МИКРОДАТЧИКА ОТНОСИТЕЛЬНОЙ ВЛАЖНОСТИ НА НАНОПОРИСТОМ ОКСИДЕ АЛЮМИНИЯ
Рассматривается объемно-планарный вариант конструктивного построения и создания миниатюрного емкостного микродатчика относительной влажности на основе нанопористых подложек из анодного оксида алюминия....
Saved in:
| Format: | Article |
|---|---|
| Language: | Russian |
| Published: |
Educational institution «Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics»
2019-06-01
|
| Series: | Doklady Belorusskogo gosudarstvennogo universiteta informatiki i radioèlektroniki |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/13 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Be the first to leave a comment!