Оcобливості впливу напруженого стану на термічну стабільність фази NiSi в плівках Ni(Pt)/Si - Тетяна Вербицька; Леонід Левчук; Руслан Шкарбань; Юрій Макогон (KPI Science News)
Проблематика. Підвищити швидкодію, ступень інтеграції мікросхем та їх надійної експлуатації можливо шляхом застосування термічностійких нанорозмірних плівок силіцидів перехідних металів як функціональних елементів. Напруження в структурах є загальною проблемою мікроелектроніки, яку необхідно враховувати на всіх етапах виробництва, зберігання і експлуатації як дискретних приладів, так і інтегральних схем.